中国科学院上海光学精密机械研究所晶圆清洗机采购项目公开招标公告

项目概况 中国科学院上海光学精密机械研究所晶圆清洗机采购项目 招标项目的潜在投标人应在上海市静安区长安路1001号长安大厦1号楼（办公楼）20层获取招标文件，并于2026年10月21日 10点00分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号： SYZB20260722 项目名称：中国科学院上海光学精密机械研究所晶圆清洗机采购项目 预算金额：175.000000 万元（人民币） 最高限…