公告预览中国科学院半导体研究所原子层沉积系统升级配件采购项目公开招标公告2026-10-23 18:22第1版正文预览项目概况 中国科学院半导体研究所原子层沉积系统升级配件采购项目 招标项目的潜在投标人应在 13点30分(北京时间)前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号:OITC-G260573465 项目名称:中国科学院半导体研究所原子层沉积系统升级配件采购项目 预算金额:400.000000 万元(人民币) 最高限价(如有):400.000000 万元(人民币) 采购需求: 1、采购项目的名称、数量: …